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SMX-ILH的熱屏蔽技術可使熱基板在高達300?C下實時進行X射線熒光數據采集,減少面板的停留時間,提高加工能力
SMX-ILH的熱屏蔽技術可使熱基板在高達300?C下實時進行X射線熒光數據采集,減少面板的停留時間,提高加工能力。由于采用一個專門設計的Z軸高度調節功能裝置,該系統能夠適應大型面板中經常出現的平面性差異(弓起和卷曲)等問題,從而進一步提高了測量精度和結果,尤其是在較高的溫度下。
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