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技術(shù)參數(shù)

測量

范圍 Z軸（垂直） 160μm

X軸（水平） 17.5mm（0.69inch）

分辨率 Z軸

（垂直） 0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

顯示器 2,4英寸IPS / 320X240點(diǎn)陣

測量

項(xiàng)目 參數(shù) Ra、Rz、Ry、Rq、Rc、Rt、Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz（JIS）、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rpc、Rmr

圖形 支承率曲線，粗糙度，原始輪廓，濾波波形

參數(shù)范圍 Ra、Rq：0.005μm~16μm

濾波器 RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr) 0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln） Ln= lr×n n=1~5

傳感器 測量原理 差動(dòng)電感式位移傳感器

觸針 金剛石，90/60°錐角，5μm/2μm針尖半徑

測力<4mN

導(dǎo)頭 硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度 lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 500mm/s

lr=2.50, Vt=1.000mm/s 返回 Vt=1.000mm/s

示值誤差 ±(5nm+0.1A) A:多刻線樣板參數(shù)Ra的標(biāo)準(zhǔn)值

示值變動(dòng)性 不大于3%

殘余輪廓 不大于0.010μm

電源 內(nèi)置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

外形尺寸 142×55×40mm

重量 約350g