操作薄膜電阻測定儀正確方法

【資料簡介】

薄膜電阻測定儀 型號：TD-SZT-2A
1．SZT-2A 主機采用的電路設計，所測數值更精、更快、更準（一代為傳統式電路，缺點：體積大，速度慢，元器件繁多導致影響機器壽命）。
2．屏幕采用液晶顯示（一代為只有數碼管顯示）。
3．匹配電腦接口及軟件，讓操作簡便明了化（可直接連接電腦，電腦進行自動運算根據輸入厚度，自動比照并修正系數，使被測結果更，數據可儲藏或刪除，利于使用方保存記錄）。
4．二代的測試架采用自動傳感裝置，接近被測物體時實行自動減速，避免了被測物體的損耗和探頭的磨損（于國內市場上任何一款同類產品的測試架，老一代為手動）。 5. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時，標準系數為機器自帶自調，無需另外手工調整，省去了原儀器的諸多麻煩。
6. 本儀器的zui小分辨率為0.1mΩ
7．主機帶有手自一體功能
8．測試探頭為鎢針，市場上多為高速鋼針。
9．每次測量均有內置計算機自動進行溫度補償及電壓電流矯正。
10．整機測量標準不確定度：≤ 2%（國內其它廠家誤差為≤ 5% ）
11. 技術參數：
1)． 測量范圍：
電阻率：10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
電阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2)． 可測半導體材料尺寸
直徑：5mm-130mm
長度：≤400mm
3)． 測量方法：
軸向、斷面均可
4)． 顯示方式：41/2,數顯,性、過載自動顯示，小數點、單位自動顯示。
5)． 恒流源：
（1） 電流輸出：直流電流0~100 mA連續可調。
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA
（3） 誤差：±0.5%讀數±1個字
6).四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W
8) SZT-2A 分為帶電腦接口和不帶電腦接口的兩種，帶接口功能為當硅片的厚度＜1mm時自動修正讀數，使得測量出的數據準確率為99%，被測試的數據自動生成表格并可以打印，可以隨時保存和刪除.