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高精密勻膠機(jī)

2019年05月13日 09:16:28人氣:461來源:北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司

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關(guān) 鍵 詞高精密勻膠機(jī),勻膠機(jī),現(xiàn)貨高精密勻膠機(jī),*高精密勻膠機(jī),直銷高精密勻膠機(jī)
【資料簡(jiǎn)介】

高精密勻膠機(jī) 型號(hào):SC100-SE
  SC100-SE標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。 

  不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中的大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和高的可重復(fù)性。 

主要性能指標(biāo):  
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)   
旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可到0.1秒   
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-10,000rpm(更高速可選)   
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)   
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm   
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm   
工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec   
支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)   
旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)  


產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn):  
內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。   
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。   
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。   
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。  
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。   
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。   
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。   
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔光阻的溢出及有效隔有毒的氣味的散發(fā)。  


產(chǎn)品外型尺寸:  
     433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)  
    306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu) 

北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司作者

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