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浙江安徽山東-上海將來實驗設(shè)備有限公司

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*:照度儀

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照度儀

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儀器簡介:

Q150T系列模塊化鍍膜系統(tǒng)_專為SEMTEM及薄膜應(yīng)用設(shè)計的高真空濺射和蒸發(fā)鍍膜儀

Q150T
系列:渦輪泵高真空鍍膜儀,可進行高性能精細(xì)顆粒鍍膜,適合場發(fā)射電鏡制樣應(yīng)用以及制作無定形碳覆形膜及TEM柵網(wǎng)支持膜。基于內(nèi)部安裝的渦輪分子泵抽真空平臺,Q150T具有三種版本/型號的鍍膜儀:濺射、蒸發(fā)鍍碳和濺射/蒸鍍。在運用科技整體成型的機箱上,設(shè)有彩色觸摸屏,可允許多用戶輸入和貯存鍍膜方案。在同一個易使用系統(tǒng)中,根據(jù)所選擇的配置,Q150T可以是一臺水準(zhǔn)的離子濺射鍍膜儀用于高分辨掃描電鏡(SEM)制樣,也可以是一臺適合SEM或透射電鏡(TEM)應(yīng)用的蒸發(fā)鍍碳儀,或者是一臺兼具濺射和蒸鍍兩功能的一體化鍍膜儀。Q150T具有快速濺射易氧化和不氧化金屬靶材的寬可選范圍的能力,使其也成為許多金屬薄膜研究及電極的應(yīng)用等材料科學(xué)領(lǐng)域的一個理想鍍膜平臺。
 
高真空性能
Q150T
裝在一個堅固的特制整體成型機殼中,它容納了所有工作部件,包括空氣冷卻的渦輪分子泵。自動進氣控制保證了濺射期間*的真空條件。真空腔室?guī)в蟹辣踩帧?span lang="EN-US">Q150T
含有的真空閉鎖允許在不用設(shè)備時維持腔室真空,從而改善真空性能。

Q150T
系列三種型號

Q150TS
:高分辨率磁控離子濺射鍍膜儀,可濺射易氧化及不氧化金屬(貴金屬)。可選各種濺射靶材,包括常用于場發(fā)射電鏡的銥和鉻。

Q150TE
:高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀,可制作高穩(wěn)定性的碳膜和表面覆形膜,對透射電鏡(TEM)的應(yīng)用非常理想。

Q150TES
:集合了濺射和蒸鍍兩種沉積鍍膜功能的鍍膜系統(tǒng),沉積鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)快速更換,智能邏輯系統(tǒng)自動識別出所裝的鍍膜頭類型,并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置。

上述每個型號還可選配一系列可選附件,如:金屬蒸鍍、碳絲蒸鍍、膜厚測量等。


觸摸屏控制

Q150T
的操作核心為簡單的觸摸屏,即使zui不熟練的或偶而使用的操作者,儀器也能使其快速鍵入和貯存自己的處理數(shù)據(jù)。程序中已貯存了各種典型濺射及蒸發(fā)鍍膜的參數(shù)資料,以便提供進一步的易操作幫助。


鍍膜頭選項

具有一系列可互換、即插即用的鍍膜頭:

濺射頭,可使用易氧化及非氧化金屬兩大類寬范圍靶材;并可用另外的濺射頭來快速更換鍍膜材料(僅為TSTES版本)

碳棒蒸發(fā)頭

碳絲蒸發(fā)頭

金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭,包括向上蒸發(fā)或向下蒸發(fā)兩種蒸發(fā)方式(僅為TETES版本)


樣品臺選項

Q150T
具有各種樣品臺以滿足大部分的應(yīng)用。所有的樣品臺更換容易,drop-in式樣(無需螺釘)并且高度可調(diào)(除旋轉(zhuǎn)行星臺)。標(biāo)準(zhǔn)配置為旋轉(zhuǎn)臺,可選:

可預(yù)設(shè)傾斜角度的旋轉(zhuǎn)臺

可變角度旋轉(zhuǎn)行星臺

用于
4”晶圓的平面旋轉(zhuǎn)臺
用于顯微鏡載玻片的樣品臺


其它選項

用于高樣品的加高腔室

膜厚監(jiān)測附件(FTM

用于測量低和高真空的全范圍真空計


Q150T
系列全自動高真空離子濺射/熱蒸發(fā)一體化鍍膜儀給用戶以類似傻瓜相機的簡單操作、*的鍍膜質(zhì)量和對熟手/新手都很理想的用戶界面,讓用戶真正領(lǐng)略的鍍膜品質(zhì)!



技術(shù)參數(shù):

工作腔室:150mm內(nèi)徑 x 127mm
觸摸屏全圖像用戶界面

樣品臺:標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺

真空系統(tǒng):

渦輪分子泵:帶有空氣冷卻的渦輪分子泵

旋轉(zhuǎn)機械泵:雙級旋轉(zhuǎn)機械泵

濺射電流:0-150mA;可預(yù)設(shè)膜厚(需FTM選項)或使用內(nèi)置定時器

濺射時間:zui長60分鐘

碳蒸發(fā):穩(wěn)定的無紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā),確保源自碳棒或碳絲的可重復(fù)蒸碳。

金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭:用于源自鎢絲籃或舟的金屬熱蒸發(fā)。

尺寸和重量:儀器機箱:
585mmx 470mm x 410mm總高: 650mm
儀器總重量:
33.4Kg



主要特點:

金屬濺射或碳蒸發(fā)或兩者兼?zhèn)洌阂惑w化設(shè)計,節(jié)約空間
精細(xì)顆粒濺射:高分辨率場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)制樣的精細(xì)鍍膜應(yīng)用
渦輪分子泵高真空系統(tǒng):允許不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材的濺射鍍膜,大大拓寬了可濺射靶材范圍,既適合普通SEM、高分辨率FE-SEM鍍膜制樣應(yīng)用,也為許多薄膜應(yīng)用等材料科研領(lǐng)域提供理想的鍍膜平臺
全自動觸摸屏控制:快速數(shù)據(jù)輸入,簡單操作
可儲存多個客戶自定義鍍膜方案:對多用戶實驗室十分理想
與鍍膜過程和鍍膜材料相匹配的預(yù)編程自動真空控制
精細(xì)的厚度控制:使用膜厚監(jiān)控選項
● “
智能式系統(tǒng)識別:自動感知用戶所裝的插入式鍍膜頭的類型
高真空碳蒸鍍:對SEMTEM鍍碳膜應(yīng)用非常理想
蒸發(fā)電流波形控制
● Drop-in
落入式快換樣品臺(標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺)
真空閉鎖功能:可讓工作腔室處于真空狀態(tài),改善后續(xù)真空效果,或在真空條件下保存樣品
鍍制厚膜能力:一次真空條件下的濺射時間可長達60分鐘(材料科研領(lǐng)域的應(yīng)用)
人體工程學(xué)設(shè)計的整體成型機殼:易維護和易拆裝
帶有本地FTP服務(wù)器連接的以太網(wǎng)端口:簡單的程序更新
設(shè)有功率因素補償,有效利用電能,降低運行成本
符合當(dāng)前電器法規(guī)(CE認(rèn)證)

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