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成都太科光電技術有限責任公司
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INF600-LP-WM激光平面干涉儀產品型號：INF600-LP-WM雙端口檢測大口徑平面元件面型檢測光學材料均勻性測量元件面型分析，光學數據處理
成像質量良好，結構簡潔
臥式結構，雙端口測量
操作方便，使用簡單
波長調諧式條紋分析系統
雙端口檢測
大口徑平面元件面型檢測
光學材料均勻性測量
平行平板元件多表面測試
元件面型分析，光學數據處理
序號 | 指標名稱 | 指標水平 |
1 | 測試方式 | 雙端口臥式結構 |
2 | 有效測試口徑 | 大端口≥Φ600mm；小端口≥Φ100mm |
3 | 相移方式與測試波長 | 波長調諧光源，波長632.8nm（可選1064nm,1053nm等） |
4 | 調焦 | 光瞳調焦范圍大于±2.0m |
5 | 變焦 | 1X光學變焦+50X數字變焦 |
6 | 探測器 | 分辨率≥1.2K×1.2K 或≥2.3K×2.3K 或≥3.4K×3.4K |
7 | 儀器傳遞函數（ITF） | ＞0.70 @ 0.6 cycles/mm |
8 | φ600mm標準楔形鏡（TF鏡） | PV優于λ/15,RMS優于λ/80，PSD1小于0.70nm |
9 | φ600mm標準反射鏡（RF鏡） | PV優于λ/15,RMS優于λ/80，PSD1小于0.70nm |
10 | 系統空腔精度 | PV優于λ/14,RMS優于λ/80，PSD1小于0.70nm |
11 | 系統重復性精度 | RMS重復性精度：＜λ/2000（2σ） |
12 | 系統穩定性 | 24小時測試，系統空腔精度與重復性均達到第10,11項精度指標 |
13 | 系統可靠性 | 平均工作時間大于1000小時，連續工作時間大于48小時 |
14 | 分析系統 | QPS快速抗振波長調諧隨機相移分析系統 |
15 | 平行平板分析 | 多波長掃描平行平板分析功能，厚度范圍1mm-5m |
16 | 材料光學均勻性分析 | 四步法材料均勻性測量分析 |
17 | 測試對準方式與角度 | 快速對準角度＞±15°，測試操作時間小于2min |
18 | 測試工裝 | 兩維角度調節，一維平移調節，氣浮大范圍調節 |
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