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FS,MF系列流量傳感器 ,FS,MF微型氣體質(zhì)量流量計(jì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品概述:FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述:
FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍到50SLPM；

產(chǎn)品特點(diǎn):

- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)

- 支持多種連接方式，易于安裝與使用

- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量

- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高

- 輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓

- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高

- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

- 低功耗、低壓損

- 響應(yīng)速度快

機(jī)械尺寸:

產(chǎn)品特點(diǎn):

性能參數(shù) FS4003 FS4008 單位
通徑 3 8 mm
流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 100:1
精度 ±(1.5+0.2FS) %
重復(fù)性 0.75 %
零點(diǎn)輸出飄移 ±30 mV
輸出飄移 0.12 %/oC
響應(yīng)時(shí)間 100 ms
工作電源 8~18Vdc,100mA
輸出方式線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
流量壓損 100 600 pa
工作壓力 0.5 MPa
工作溫度 -10 ~ +55 oC
存儲(chǔ)溫度 -20 ~ +65 oC
工作濕度 <95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）
機(jī)械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量 57（帶R1/4,BSPT1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)