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反射膜厚儀

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產(chǎn)品型號(hào)MProbe UVVisSR

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2025-05-12 14:24:35瀏覽次數(shù):48次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品描述:MProbe UVVisSR薄膜測(cè)厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

        MProbe UVVisSR薄膜測(cè)厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類(lèi)金剛石炭),聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

       該機(jī)大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類(lèi)金剛石炭),聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

測(cè)量范圍: 1 nm -50um    

波長(zhǎng)范圍: 200 nm -1000 nm

MProbe UVVisSR薄膜測(cè)厚儀適用于實(shí)時(shí)在線(xiàn)測(cè)量,多層測(cè)量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(kù)(超過(guò)500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

測(cè)量指標(biāo):薄膜厚度,光學(xué)常數(shù)

界面友好強(qiáng)大: 一鍵式測(cè)量和分析。

實(shí)用的工具:曲線(xiàn)擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測(cè)量,動(dòng)態(tài)測(cè)量和產(chǎn)線(xiàn)批量處理。

(MProble NIR薄膜測(cè)厚儀系統(tǒng)示 )

案例1,73nm SiN氮化硅薄膜的測(cè)量

硅晶圓反射率,測(cè)量時(shí)間10ms

使用Tauc-Lorentz模型,測(cè)量SiN薄膜的n和k值

關(guān)鍵詞:測(cè)厚儀

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