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電容式壓力變送器被測介質的兩種壓力通入高\低兩個壓力室，作用在δ元件(即敏感元件)的兩側隔離膜片上，通過隔離片和元件內的填充液傳送到測量膜片兩側。電容式壓力變送器是由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。
當兩側壓力不一致時，致使測量膜片產生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側電容量就不等，通過振蕩和解調環節，轉換成與壓力成正比的信號。
電容式壓力變送器和電容式壓力變送器的工作原理和差壓變送器相同，電容式壓力變送器的A/D轉換器將解調器的電流轉換成數字信號，其值被微處理器用來判定輸入壓力值。另外，它進行傳感器線性化，重置測量范圍，工程單位換算\阻尼\開方，傳感器微調等運算，以及診斷和數字通信。
電容式壓力變送器在給定輸入壓力信號后，檢查變送器輸出端電壓信號的狀態.若無輸出電壓，應首先檢查電源電壓是否正常；是否符合供電要求；電源與變送器及負載設備之間有無接線錯誤。如果變送器接線端子上無電壓或極性接反均可造成變送器無電壓信號輸出。排除上述原因，則應進一步檢查放大器板線路中元件有無損壞問題；線路板接插件有無接觸不良現象，可采取對照正常儀表的測量電壓與故障儀表對應的測量電壓相比較的方法，確定故障點，必要的情況下可更換有故障的放大器板。在對流量型變送器檢查時，對J型放大器板應特別要注意采取防靜電措施。接通電源，在給定輸入壓力信號后，若變送器輸出過高(大于10VDC)，或輸出過低(小于2.0VDC)，且改變輸入壓力信號和調整零點\量程螺釘時輸出均無反應。對于這類故障,除檢查變送器測量部分敏感部件有無異常外，應檢查變送器放大器板上“振蕩控制電路部分"工作正常與否。高頻變壓器T1-12之間正常峰值電壓應為25~35VP-P；頻率約為32kHz，其次檢查放大器板上各運算放大器的工作狀況；各部分的元器件有無損壞問題等，此類故障需要更換放大器板。
