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橢偏儀 FILM SENSE

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產(chǎn)品型號FILM SENSE

品       牌

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更新時間:2022-11-15 16:21:45瀏覽次數(shù):288次

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產(chǎn)品簡介

橢偏儀 FILM SENSE可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征.

詳細(xì)介紹

橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。由于測量精度高,適用于超薄薄膜測量,

與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真寬,使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。
橢偏儀是測量比率,所以它對光束強度的變化或樣品的缺陷引起散射光不敏感。橢偏儀在每個波長測量2個量(Ψ and Δ),

可以確定2個定量比如薄膜厚度,以及光學(xué)常數(shù)或基底的折射系數(shù)和消光系數(shù)。橢偏儀對薄膜Δ參數(shù)相位差極其敏感,能夠準(zhǔn)確的測量薄膜厚度低至0 Å。

關(guān)鍵詞:橢偏儀 光學(xué)測量儀

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