產(chǎn)品名稱(chēng)

小型雙通道浮子混氣系統(tǒng)--CGM-2F

浮子流量計(jì)

兩個(gè)浮子流量計(jì)可以將流量計(jì)速率控制在16 to 160mL/min

混氣罐

內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣

機(jī)械壓力表（混氣罐）

-0.1-0.15MPa

關(guān)鍵和閥門(mén)

采用ss304不銹鋼。

三管件接口直徑為1-4"（接管可選聚四氟或不銹鋼）。

外形尺寸

340L ×300D ×180H mm

可選

CVD或者PECVD。

液相氣體發(fā)生器。

1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)----OTF-1200X-S50-2F。

Plasma等離子清洗

凈重

約10kg

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

免責(zé)聲明

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