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AMC在線監測的操作流程介紹

閱讀:3063      發布時間:2023-4-19
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  AMC空氣分析污染物監測獵戶座 3100S 系統: 完善的空氣分子污染(AMC)監測實時監測空氣分子污染(AMC)對于半導體生產過程尤為重要。快速監測、報警、極低濃度測量、寬測量區域、多氣體的高靈敏響應等是半導體工業要求之一。
 
  AMC在線監測的原理是利用空氣質量傳感器對大氣中的微量污染物進行實時監測和分析,根據監測數據進行數據處理和報警。操作流程如下:
 
  1、空氣采集:采用專業的氣采系統對大氣中的微量污染物進行采集。
 
  2、傳感器監測:利用空氣質量傳感器對采集的空氣樣品進行實時監測和分析。
 
  3、數據處理:將監測到的數據進行處理和分析,得出相關的數據結果。
 
  4、報警處理:根據監測數據進行報警,提醒企業進行相應的環保和安全措施。

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