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萊特萊德(北京)純水設(shè)備技術(shù)股份有限公司

半導(dǎo)體純水系統(tǒng)保障清洗用水品質(zhì)

時間:2021-9-18閱讀:223

  半導(dǎo)體是科學(xué)技術(shù)的靈魂,今年半導(dǎo)體和電子元件行業(yè)的經(jīng)濟(jì)非常火爆,原因有二:

  一、由于產(chǎn)能供應(yīng)不足,特別是汽車和半導(dǎo)體行業(yè)的需求快速增長,半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)品價格大幅上漲。

  二、由于技術(shù)仍被美國公司所壟斷,這為國內(nèi)替代品相關(guān)公司取代替代品市場提供了一波機(jī)會,致使國內(nèi)電子行業(yè)的繁榮不斷上升。

  幾乎所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過程都需要純水清洗。工件與水直接接觸,水質(zhì)達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)水中微量雜質(zhì)會再次污染芯片,對產(chǎn)品的影響不言而喻。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步,半導(dǎo)體生產(chǎn)對水中污染物的要求越來越高。自20世紀(jì)60年代末美國五家公司提出半導(dǎo)體純水水質(zhì)指標(biāo)以來,半導(dǎo)體中的雜質(zhì)每一代都要減少1/2~1/10。1983年和1990年美國測試與材料學(xué)會發(fā)布的電子水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)已不能滿足超大規(guī)模半導(dǎo)體快速發(fā)展的需要。目前,ASTM提出了新的更嚴(yán)格的水質(zhì)指標(biāo)。

  “RO+EDI+精處理混床"工藝與傳統(tǒng)純水處理工藝基本相同。經(jīng)過嚴(yán)格預(yù)處理后,原水進(jìn)入RO反滲透膜系統(tǒng),出水立即送至EDI裝置。此時出水已達(dá)到一般工業(yè)用純水的要求,再經(jīng)過處理混床深度處理,確保出水無雜質(zhì),達(dá)到18兆歐電子純水標(biāo)準(zhǔn)。

  EDI是結(jié)合離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)的純水制造技術(shù)。它不需要酸堿再生。這是一種新的脫鹽方法。EDI純水設(shè)備用于生產(chǎn)純水,無需再生化學(xué)品,運(yùn)行成本低。EDI系統(tǒng)自動化程度高,可以連續(xù)工作。出水水質(zhì)良好穩(wěn)定,出水電阻率低≥ 15mΩ·cm。結(jié)合其它預(yù)處理工藝和混床處理工藝,出水電阻率可達(dá)18.2mΩ·cm,達(dá)到工業(yè)電子純水標(biāo)準(zhǔn)。


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