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淺談?wù)婵账t的2種抽真空方式
真空甩帶爐是用來制備和開發(fā)亞穩(wěn)材料(如非晶態(tài)材料)的設(shè)備，該設(shè)備除了具有感應(yīng)爐的全部特點(diǎn)外，還具有制備塊體金屬非晶及金屬薄帶的功能,適用于各種非晶及微晶材料的研究及實驗工作，廣泛用于新型稀土永磁材料非晶軟磁材料及納米材料科學(xué)的開發(fā)與研究
1)抽低真空：
a) 將機(jī)械泵拉桿逆時針旋轉(zhuǎn)一下輕輕外拉至不能拉動再順時針旋轉(zhuǎn)一下鎖定；
b) 等待真空表指針為“-0.1”后按下ZDF-2F復(fù)合真空計左表頭的紅色按鈕，等待將腔內(nèi)真空抽至低于中間檔3Pa，同時繼續(xù)緊固腔門上的螺絲。(注意：若超過5分鐘未能將真空抽至低于3Pa，請將拉桿按a)步驟所示手法推進(jìn)2分鐘后再拉出)
2)抽高真空：
a) 當(dāng)腔內(nèi)真空低于3Pa后，將機(jī)械泵拉桿推進(jìn)并順時針旋轉(zhuǎn)鎖定；
b) 將擴(kuò)散泵閥門開關(guān)手柄逆時針旋轉(zhuǎn)180°至“開”；
c) 當(dāng)左表頭指針低于0.2Pa后，按下右表頭上的綠色按鈕，并按復(fù)位按鈕一次運(yùn)行高真空表；
d) 根據(jù)情況依次更換量程，查看腔內(nèi)真空度。(注意：在當(dāng)前量程內(nèi)，若指針高于“1”嚴(yán)禁更換到更小量程查看真空度)