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深圳市歐亞精密儀器有限公司

潔凈室的空潔凈度測量

時間:2018-11-21閱讀:766
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空氣潔凈度:潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子大濃度限值進行劃分的等級標準

一、潔凈室的空氣潔凈度,應進行下列測試

 (一)空態、靜態測試

  空態測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。

  靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試。

 (二)動態測試

  潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。

  潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。

二、空態、靜態測試

 (一)測試前的準備

1. 應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進行*清潔。

2. 采用光散射粒子計數器對空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數應為大于或等于30,000粒/升。如若不夠,可引入煙霧,然后開始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離空氣過濾器2-3厘米處,可以2-4厘米/秒的速度移動,對空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。

  當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5μm的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進行堵漏。

(二)測試內容

1. 總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;

2. 潔凈室壓力值;

3. 層流潔凈室斷面風速和氣流流向;

4. 潔凈工作區的潔凈度;

5. 室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;

6. 潔凈室內噪聲。

(三)潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法

對于粒徑大于或等于0.5μm的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法,也可采用濾膜顯微鏡計數法。

光散射粒子計數法:

1. 光散射粒子計數器采樣量100級:每次采樣量大于或等于1升。1,000級-10,000級:每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級:每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室,宜采用大流量粒子計數器進行測試;如果條件不具備時,可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。

2. 采樣注意事項:

①采樣管必須干凈,連接處嚴禁滲漏。

②采樣管的長度,應根據儀器的允許長度。當無規定時,不宜大于1.5米。

③采樣管口的流速,宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。

④采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。

3. 測點布置:

①檢測在潔凈工作區內進行。當生產工藝無特殊要求時,取樣高度宜為離地面1米。

②層流潔凈室測點總數不小于20點,測點間距為0.5-2.0米,粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在潔凈工作區內。

③亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點(附圖2)。每增加20-50平方米,增加3-5個測點。

4. 數據整理:

①每個測點的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣,取其平均值,即為該點的實測數值。

②對于大于或等于0.5μm的塵粒數確定:層流潔凈室取各測定點大值,亂流潔凈室取各測點的平均值。

(四)正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。

三、動態測試

在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行,測試方法同空態、靜態測試。

 

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