Cernox低溫溫度傳感器不僅具有靈敏度高、熱響應快、工作溫區范圍大、熱循環重復特性好和機械強度高等特性，還具有低磁阻、耐輻照和年漂移量小等優點，可廣泛應用于低溫超低溫系統、超導磁體系統、加速器、對撞機、同步輻射源、xian進光源、中子源、高能物理、天文望遠鏡、宇宙微波背景輻射探測和量子計算等領域。Cernox 低溫溫度計溫度傳感器低溫測量儀器
Cernox低溫溫度計的溫度傳感單元是磁控反應濺射生長的Cernox薄膜，通過調節磁控反應濺射中氨氧化物比例和生長溫度來調節Cernox薄膜的溫度響應范圍，結合xian進的光刻技術和封裝工藝,實現從20mK -500K溫度范圍的全覆蓋,標稱校準溫度范圍：2.8 K- 325K,可擴展到20mK溫度下限和500K溫度上限。Cernox低溫溫度計的典型溫度準確性:
±5mK@1K； ±5mK@4.2K；±15mK@77K；±50mK@ 300K。
Cernox低溫溫度計有SD、CU和AA三種標準封裝，也可定制尺寸更小質量更輕、熱響應更快的Cernox裸芯片，而在超薄藍寶石襯底上生長和加工的一體式Cernox裸芯片和低磁阻加熱器是熱容測試的shou選。Cernox 低溫溫度計溫度傳感器低溫測量儀器
Cernox®低溫溫度計典型特征 | |
工作溫度范圍大 | 低磁阻，對磁場不敏感 |
高靈敏度 | 耐高能輻照 |
機械強度高 | 熱響應快 |
熱循環重復特性好 | 優異短穩和長穩特性 |
年漂移量小 | |
Cernox®低溫溫度計與磁場相關的典型溫度誤差表 | ||||||||||||||
1T | 2T | 3T | 4T | 5T | 6T | 7T | 8T | 9T | 10T | 11T | 12T | 13T | 14T | |
1.45K | 0.34 | 1.19 | 2.49 | 3.46 | 4.16 | 4.79 | 5.44 | 6.06 | 6.69 | 7.29 | 7.94 | 8.57 | 9.26 | 9.94 |
4.2K | 0.05 | 0.08 | 0.11 | 0.13 | 0.16 | 0.18 | 0.24 | 0.30 | 0.36 | 0.47 | 0.59 | 0.68 | 0.77 | 0.90 |
等級 | 溫度范圍 | 標定范圍 | 精度 |
A | 4K~325K | 無 | ±1K |
4L | 4K~325K | 4K~325K | ±0.1K |
3H | 2.8K~325K | 2.8K~325K | ±0.1K |
1.4L | 1.4K~325K | 65K~330K | ±0.1K |
溫度計精度=（校準不確定度2 + 重復性2）0.5 | |||
Cernox®低溫溫度傳感器技術參數
基本信息 | |
標準曲線 | 不適用，每個傳器需要標定后才能使用 |
推薦激勵 | 20µV（0.1 至0.5 K）；63µV（0.5 K至1 K）；T>1.2 K時小于等于10 mV |
推薦激勵下的損耗 | 典型10-5 W@300 K，10-7 W @4.2 K，10-13 W@0.3 K（依據型號和溫度） |
熱響應時間 | CU封裝: 1.5 ms@4.2 K，50 ms@77 K，135 ms@273 K SD封裝：15 ms@4.2 K，0.25 s@77 K，0.8 s@273 K AA封裝：0.4 s@4.2 K，2 s@77 K，1.0 s@273 K |
用于輻射環境 | 推薦用于輻射環境 |
用于磁場環境 | 推薦在低溫磁場中使用。磁阻通常在30 K以上可忽略，且不受磁場的取向的顯著影響 |
重復性 | ±3 mK @ 4.2 K |
訂購說明
未校準的傳感器
步驟一：確定傳感器的系列，比如CX-1050
步驟二：選擇傳感器的精度等級，比如CX-1050-CU-A
校準的傳感器
步驟一：確定傳感器的系列，比如CX-1050-CU-4L
步驟二：選擇傳感器的標定范圍，比如CX-1050-CU-1.4L
