產品特點:
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩定度高
- 全量程高穩定性
- 全量程高精確度和優良的重復性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數:
性能參數 | FS4001 | 單位 | |
通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程比 | 2132132132131231312100:1 | | |
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.25 | %讀數 | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應時間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA | | |
輸出方式 | 線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc | | |
流量壓損 | 350 | 300 | pa |
工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH(無結冰、無凝露) | | |
機械接口 | 可拆式軟管接頭 | | |
校準方式 | 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa | | |
重量 | 15 | g |