產品簡介
氣體質量流量計 氣體流量計 微型流量傳感器 廠家
FS4000是采用的微機電系統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。
產品詳細信息
氣體質量流量計 氣體流量計 微型流量傳感器 廠家
型號：FS4000系列
-
產品概述：MF4000系列帶數顯；FS4000系列不帶數顯
FS4000是采用的微機電系統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產品特點:
-專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而
設計
-支持多種連接方式，易于安裝與使用
-傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
-在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
-輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
-零點穩定度高
-全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
-低功耗、低壓損
-響應速度快
機械尺寸:
產品特點:
性能參數
FS4003
FS4008
單位
通徑
3
8
mm
流量
2, 3, 4, 5
10, 20, 30, 40, 50
SLPM
量程比
≥100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重復性
0.25
%
零點輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
±0.12
%/℃
響應時間
10（默認，50，100，200，500，1000可設置）
msec
工作電源
8~18Vdc,50mA
輸出方式
線性，RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc
流量壓損
100
600
Pa
工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ + 55
℃
存儲溫度
-20 ~ + 65
℃
工作濕度
<95%RH（無結冰、無凝露）
機械接口
BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接頭
校準方式
空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量
57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)
g
- MF4003-2-R-BV-A
- MF4003-5-R-BV-A
- MF4008-10-R-BV
- MF4008-50-R-BV
- FS4003-2-R-BV-A
- FS4003-5-R-BV-A
- FS4008-10-R-BV
- FS4008-50-R-CV
- FS4001-1000-CVA
